Posudek na bakalářskou práci
Název práce: Analýza světlo rozptylujících defektů na povrchu leštěné křemíkové desky
Jméno autora: Olga Spišáková
VŠB – Technická univerzita Ostrava,
Fakulta metalurgie a materiálového inženýrství, Katedra materiálového inženýrství,
studijní program B3923 Materiálové inženýrství, studijní obor 3911R030 Technické materiály.
Oponent Mgr. Michal Lorenc,
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, Rožnov p. R.
Předložená bakalářská práce je zaměřena na konkrétní problém analýzy světlo rozptylujících defektů na povrchu křemíkové (Si) desky. Práce je členěna do dvou částí – teoretické a experimentální. Pro každou z částí jsou dále specifikovány 4 oblasti zájmu. Představení technologie výroby Si desek je přínosné pro pochopení předmětu práce. Autorka sestavila vlastní schéma výroby Si desek (kap. 2). Stručný popis tažení monokrystalů Si (kap. 3) je východiskem pro vysvětlení vzniku Crystal Originated Particles (COP) defektů (kap. 4). Na popis procesu chemicko-mechanického leštění křemíkových desek (kap. 5) a měření defektů (kap. 6) konzistentně navazuje experimentální část (kap. 7) zaměřená na výrobu vhodných vzorků a jejich analýzu. Práce tak naplňuje stanovené zásady pro vypracování.
Odborná úroveň práce je doložena 21 uvedenými referencemi. Vzhledem k širokému záběru je odborná část komprimována na účelné minimum (42 stran celkem). Dílčí nedostatky (např.
uvádění detailů procesu růstu krystalů, které přímo nesouvisejí s problematikou práce) jsou přijatelné a v podstatě potvrzují vysokou míru samostatnosti autorky při zpracování tématu.
Za zmínku stojí také vytvoření několika vlastních obrázků a schémat (např. Obr. 1, 13, 14, 15, Tab. 1, 2).
Formální úroveň práce plně odpovídá požadavkům na bakalářskou práci z hlediska zvoleného rozsahu, členění i uváděných referencí. Pouze pro kapitolu 7 (Experimentální část) je uvedeno duplicitní číslo 6 (Měření defektů a částicové kontaminace). Jazyková úroveň práce je velmi dobrá, drobné nepřesnosti jsou omluvitelné tím, že primární reference jsou v anglickém jazyce a terminologie v českém jazyce není s větší vahou využívána.
Cílů práce bylo dosaženo, přestože v závěru není tato skutečnost explicitně uvedena. Práce může být dobrým základem pro následnou diplomovou práci.
Pro obhajobu doporučuji stručně diskutovat následující otázky:
2 1. V Obr. 8b ukazujete, že v P-pásu dochází současně k nukleaci dutin i kyslíkových precipitátů. V prvním odstavci textu na str. 17 však jako P-pás označujete oblast zcela bez dutin. Prosím, vysvětlete.
2. Na str. 20 zmiňujete Fermiho hladinu jako „hladinu pravděpodobného výskytu elektronů“. Vysvětlete, prosím, podrobněji tento pojem, zaměřte se při tom na situaci v křemíku a vysvětlete, jak se Fermiho hladina posouvá s koncentrací dopantu typu n či p.
3. Kapitoly 4.8 (str. 22) uzavíráte konstatováním, že „počet COP defektů se tedy dá potlačit během růstu krystalu“. Popište podrobněji, jak lze během růstu krystalu řídit vznik defektů COP (koncentraci dopantu považujte za neměnný parametr).
4. Na Obr. 20 je vidět, že jak částice, tak COPs, byly nalezeny v oblasti stejného průměru, což naznačuje, že i defekty označené za částice jsou COPs. Jaká je přesnost /pravděpodobnost rozlišení COP od částice? Jaké chyby se dopustíme, budeme-li za COPs považovat pouze LPDN?
Předložená práce naplňuje všechny požadavky bakalářské práce a doporučuji její hodnocení – výborně.
V Rožnově pod Radhoštěm dne 31. 5. 2013 Mgr. Michal Lorenc
michal.lorenc@onsemi.com
